BERNSTEIN电容式传感器是一种 将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪
器。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成,在压力作用下,薄膜产生一定
的形变,上下级间距离发生变化,导致电容变化,但电容并不随极间距离的变
化而线性变化,其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。
器。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成,在压力作用下,薄膜产生一定
的形变,上下级间距离发生变化,导致电容变化,但电容并不随极间距离的变
化而线性变化,其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。
BERNSTEIN电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些优点:
(1)高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小,输人能量也很低。电容式传感
器因带电极板 间静电引力极小(约几个10-5 N),因此所需输入能量极小, 所以
特别适宜用来解决输入能量低的 测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的
加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常髙,能 感受0.001μm甚至更小的
位移。
器因带电极板 间静电引力极小(约几个10-5 N),因此所需输入能量极小, 所以
特别适宜用来解决输入能量低的 测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的
加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常髙,能 感受0.001μm甚至更小的
位移。
(2)温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关,有利于选择温度系
数低的材料, 又因本身发热极小,对稳定性影响甚微。
数低的材料, 又因本身发热极小,对稳定性影响甚微。
(3)结构简单,适应性强,待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作
。电容式传感 器结构简单,易于制造,可做得非常小巧, 以实现某些特殊的测量 ;
能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中 , 也能对带有磁性的工件进
行测量。
。电容式传感 器结构简单,易于制造,可做得非常小巧, 以实现某些特殊的测量 ;
能工作在高低温、强辐射及强 磁场等恶劣的环境中 , 也能对带有磁性的工件进
行测量。
(4)动态响应好。由于极板间的静电引力很小,可动部分做得很小很薄,因此
其固有频率很 高,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作 , 特别适合动态
测量,如测量振动、瞬时压力等。
其固有频率很 高,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作 , 特别适合动态
测量,如测量振动、瞬时压力等。
(5)可以实现非接触测量,具有平均效应。例如非接触测量回转轴的振动或偏
心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均
效应,可以减小工作表面粗糙 等对测量的影响。
心、小型滚珠 轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均
效应,可以减小工作表面粗糙 等对测量的影响。